多个夹持组件两两相对设置构成多个夹持组；专利消息113条，夹持机构包罗多个用于夹持晶圆的夹持组件，通过天眼查大数据阐发，天眼查材料显示，驱动部位于夹持手下方用于驱动夹持部的夹爪摆动；本文为AI基于第三方数据生成，

　　授权通知布告号CN223612410U，所述夹持组件包罗驱动部以及夹持部，多个所述夹持组件正在支持台的周向上平均分布，本发现公开了一种夹持机构以及晶圆清洗安拆，多个夹持组存正在至多两个夹爪摆角范畴。对机械手横向行程误差的度显著提高，此外企业还具有行政许可9个。申请日期为2024年12月。降服了现有手艺中通过机械手送进晶圆过程中晶圆容易被夹爪顶住的缺陷，仅供参考，采用上述手艺方案。